sensaras晟尔斯PLS9600 PLS960液位传感器——半导体PVD、CVD、ALD等工艺所需的起泡器 安瓿瓶

美国sensaras晟尔斯PLS9600多点超声波液位开关PLS960美国sensaras晟尔斯多点超声波开关PLS960介绍超声波侵入式多点液位系统主要用于半导体工业中PVD、CVD、ALD等工艺所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐内高纯度化学品液位的高精度和高可靠性的测量。液位系统在化学气相沉积过程中至关重要，如ALD，CVD，PVD等半导体晶圆制造过程。

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多点超声波液位开关PLS960简介 PLS960系列多点液位系统用于检测非常昂贵的**高纯度化学品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金属化初级粒子等）的准确数量，减少化学废物，增加产量和利润。

通过超声波回波处理技术检测液体在容器中的存在状态不受被测物的介电常数、颜色、密度和粘度等参数影响探头采用316L 不绣钢材质，通过½”或¾” VCR与容器连接探头采用套筒式或叉式结构一体式设计，无可动部件模块与探头分离，*校准，易安装多点液位测量
高位/溢出报警
低位/停止、再进料
半导体行业和制药行业

输入： 24VDC
输出: 每点1A SPDT
1A SPDT 报错点、自动进料显示
本地温度显示可选
可高达7点液位显示和报错显示
对不同液体也*校准

重复性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
电流消耗：250mA（典型）

材质： 316LS不锈钢

3/4" VCR连接结构可达到7个液位检测点

1/2" VCR连接结构可达到4个液位检测点

多于7个点的检测请与我们沟通，可定制达16个点。

K-type SLE 温度传感器（可选）
低液位检测点可置于探头末端向上5毫米
两个液位检测点小距离可为2.5毫米
长度 : 600毫米，若需更长与我们沟通